设计一台检测设备，一个平台上有一个产品，产品差不多是一片玻璃，产品表面水平精度小于1mm，在载台上方有一个X轴,X轴上是一个Z轴挂检测相机，检测相机的景深是只有正负20um,也就是说在X轴在动作检测的过程中，Z轴要自动的进行对焦补偿，保证相机到玻璃表面距离波动误差很小才能让检测图片清晰；这个Z轴的自动对焦补偿要怎么做比较合适呢？有没有哪位大佬有做过类似案例分享下经验或者给下建议。控制系统用的是三菱PLC+三菱伺服，X轴检测速度300mm/S. 检测长度1M~2M.感谢路过的大佬。

单点采集取不到平面度，确实需要采集平面3点取水平，接触式不合适可选激光的，测到距离偏差，相机运动补偿对焦就可以；300mm/s速度相机是2.5d还是3d，连续采集中去补偿效果不太好，对焦后去拍可以