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最近在是做一个程序(系统画面图如上),是镀膜机。先说下正常动作流程:(该系统有二组抽气系统A1组,A2组)
1:按下画面《自动抽气》按键(系统自动抽气启动);
2:系统自动抽气启动A1组A2组的(1# -3#)粗抽泵顺序打开,同时A1组的VA1,V1A1(有检测开关)阀及A2组的VA2,V1A2(有检测开关)阀也打开,系统进行粗抽;
3:当真空到达6.0X10^2Torr时打开A1组罗茨泵A1关闭A1组VA1阀及打开A2组罗茨泵A2关闭A2组VA2阀;
4:当真空度到达3.0X10^0Torr时A1组的V1A1(有检测开关)阀关闭,1秒后V2A1(有检测开关)阀打开;同时A2组的V1A2(有检测开关)阀也关闭,1秒后V2A2(有检测开关)阀打开;
5:当A1组的V2A1(有检测开关)打开5秒后其V3A1(有检测开关)阀也打开,同时当A2组的V2A2(有检测开关)打开5秒后其V3A2(有检测开关)也打开,系统进行细抽;
6:当真空度到达6.0X10^ -2Torr时进行镀膜
7:镀膜完成后按下《关阀放气》按键系统自动顺序关闭A1(A2)组的V3A1(V3A2)阀,V2A1(V2A2)阀,A1(A2)罗茨泵,A1组1# -3#(A2组1# -3#),完成整个过程;
现要求在自动抽气启动后无论处于1-5步序中任一个步序时停止自动抽气,其当前状态保持不变(即使转到下一步条件达成),此时可用手动操作各个阀及泵,手动操作完毕后按下《自动抽气》按键系统自动进入自动抽气流程。
如当前系统自动抽气进行到第4步序时停止自动抽气,将A2组的状态用手动操作使其处于第3或第2步序的状态,然后再按下《自动抽气》按键使A2组由第3或第2步序运行到第4步序联同A1组再进入下一步序。
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