往事如风
科技改变制造
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楼主  发表于: 2020-09-26 16:54
最近发生的一次设备故障,删除敏感章节,截取部分和大家分享交流处理过程
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    jiaogeishui
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    1楼  发表于: 2020-10-05 18:40
    4点对位改成3点对位的先决条件是,工件的尺寸精度足够高,曝光机的MASK是同一件,所以就取决于工件本身的精度,够高的话,用对角2点也是可以的
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    jiaogeishui
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    2楼  发表于: 2020-10-05 18:43
    通常国外的曝光机对位模式都会做好几种,2点、3点、4点、不对位  这四种
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