想用黑白相机配三色光源可否检测IC脚变形？吸盘将IC吸起，相机从下向上拍照，检测IC脚水平方向脚变形和单脚上下翘起变形。这种配置是否可行？

看你要求的精度，尤其是Z方向的检测。
如果要求精度不高，用楼主所说的方案可以检测出来，可能主要问题在Z方向的形变上。
如果要示精度比较高，建议使用3D来检测。
另外视觉方案评估，最好给出详细的技术参数，例如：
产品尺寸范围（涉及视野确定），最终要求检测数据的公差范围，产品检测节拍，工作距离要求等。
只有以上数据清楚了，才能给出专业合理的评估方案。否则，都是两可的半吊子方案，实施时会出问题的。

吸起来也可以保持同一个高度的，吸嘴选用带支撑的就行。