工艺条件：

1、手动打开进气阀1（N2气)、出气阀、手动调整微调阀到压力为4.3pa(±0.2pa).
2、压力到4.3pa(±0.2pa)后开始计时（30min）。
3、30min到后自动关闭进气阀1（N2气），打开进气阀2（氢氮混合气），手动调整微调阀到压力为4.3pa(±0.2pa)。
4、压力到4.3pa(±0.2pa)后开始计时（30min）。
5、30min到后自动关闭出气阀。
6、等气压到0.03pa后关闭进气阀2（氢氮混合气）。
7、开启加热器等温度到达65℃后开始计时（16h）。
8、16h到后关闭加热器。
9、打开进气阀1（N2气)、出气阀、手动调整微调阀到压力为4.3pa(±0.2pa).
10、压力到4.3pa(±0.2pa)后开始计时（30min）。
11、30min到后自动关闭进气阀1（N2气）。
12、压力到0后关闭出气阀。
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路过路过