三菱PLC驱动安川伺服电机抖动，怎么解决？

我用的是三菱FX3U+1PG+触摸屏控制安川伺服电机，将电机取下后，用触摸屏给出单速定位指令后，无明显抖动，当装上机器上后再运行，机器就开始抖动，就像是有PLC输出的脉冲不连续一样，原本应是匀速运转的机器，一直在转动过程中抖动。
但如果不用PLC控制，而是直接用安川伺服驱动器自带的JOG运行（点动），除了启动或停止瞬间由于无加减速引起的震动外，其他时间运行平稳。
有高手知道是怎么回事吗？麻烦帮我给点意见，多谢

以前我做过一个实验，同样的PLC和指令，同样用出厂默认参数，都是750W低惯量。
伺服电机就平放着在桌子上，速度是1秒2圈，就只转2秒共4圈。
三菱KFS73的不抖动，很平稳，安川的抖动很明显。

据说调节一些伺服上的参数可以让抖动减少，但估计和电机本身质量有一定关系。