我用的是三菱的伺服马达HF-KE131-S100;和三菱的伺服驱动器MR-E-10。手臂赢得是银光的单轴手臂，现在有个问题，滑台在移动时会产生向回偏摆现象。感觉是走到一个位置后又向回走了0.3MM。不知这是为什么。我伺服驱动；马达；PLC都更换过，故障依旧。手臂也送厂家检修了。也没有问题。可是其他几台机器也是同样的配置就不会出现此现象，唯独这台不行，我很是不解，问问各位前辈，有没有遇到类似的情况，改如何解决，望不吝赐教。

刚性和增益怎么调，现在用的是自动调整模式，马达和手臂的链接是联轴器链接的。伺服参数如下：

伺服的设置都是一样的，机器也接地了。减速时间也调小和调大，定位控制增益也调过了（调整此参数要2#调整到手动调整增益）还是不见起色。哎，郁闷中！！！

调整增益之后是有一点效果，抖动减小了，可是就是不能完全消除抖动。调整增益和惯性是否有什么规律和窍门？

郁闷，今天调了一天还是不行，就是不能完全没有抖动，我的参数是P2--0402; P6--20; P34--60,.0  P35--10调到这个状态会好一点。他在抖动的时候一会向左动，一会向右动，这是在参数不变的情况下。真郁闷。

10楼说的一点也没有错。但是还有其他几台也是同样的配置，就是一点问题也没有。当时怀疑是马达编码器有问题，让三菱公司检测过说没有问题。机械故障的话我有把手臂寄给厂家，厂家也说没有问题。联轴器链接也很可靠。真是伤脑筋。惯性参数是否满足设备的惯性要求，这个怎么来算？还望指点。

谢谢大家的关心，现在已经解决。是干扰和参数的问题。我把伺服的线的周围的大电流的线分开，在信号线处更换了新的屏蔽。然后再调整参数，现在基本上已经没有抖动的问题。谢谢大家的帮助和支持，谢谢。