dayug
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楼主  发表于: 2011-05-19 23:43
一种用于半导体硅片扩散源喷涂的设备程序。分XY轴,使用步进电机。三菱PLC。
附件: 喷源机.rar (10 K) 下载次数:268
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yerong
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1楼  发表于: 2011-05-20 07:06
有电路图吗??