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用于半导体硅片扩散源喷涂的设备程序
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dayug
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发表于: 2011-05-19 23:43
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一种用于半导体硅片扩散源喷涂的设备程序。分XY轴,使用步进电机。三菱PLC。
附件:
喷源机.rar
(10 K) 下载次数:267
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