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张平全
为国出力的时候到了
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楼主  发表于: 2020-07-12 05:42
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我们做的是晶体生长行业超高真空设备，需要在超高真空4.0E-11Torr环境内把指甲大小，厚度约0.2mm产品加温到800度左右，普通的发热管，发热片是不行的，如果有接触到这类国外设备的朋友们，请提供参考
由于众所都知的原因，我们公司已承接到国家级的一个小技术项目开发，在国外这是几十年前就有的技术，但国内还处于空白状态，我们需要从零开始奋起直追，希望得到以下技术参考，谢谢

由于在回复大家的信息过程 中，出现了多次360退出及信息被转移的情况，有些信息我不再回复祥细技术内容，请理解
[ 此帖被张平全在2020-07-15 23:40重新编辑 ]
kongxin268
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1楼  发表于: 2020-07-12 06:18
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激光，电磁，超声波。不知可用吗？
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    zhuo610616
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    2楼  发表于: 2020-07-12 08:06
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    顶起，虽然我不知道用什么材料，不过还是要顶一下
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    张平全
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    3楼  发表于: 2020-07-12 10:23
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    因为要整体加热一只产品，激光加热的论证我们没有通过
    目前使用的是钨丝加热，但一旦升到450度左右，便有不良物质析出，找了国际上正常供货的能找到的不低于五六家，国内也有五六家，最高5个9的纯钨丝，也在气体分析仪上能读出有足以影响到实验成败的杂质，因此只能多管齐下，探索多条路子
    希望得到大家的提示帮助，集思广益，
    书香伴侣
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    4楼  发表于: 2020-07-12 11:29
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    固态加热器或者石墨加热器？测温就用温控探头就好啦
    楼主留言：
    目前，夹具是石墨做的，铠装热电偶放在夹具外面，测不准，同在大气压环境对比，估计差几十度，
    产品为。。。。，普通热电偶等接触式测量是行不通的，因为到达软化点后，会破坏产品，是不可以接受的，目前用红外线辅助测温，但离理想精度太远了
    haiyouyang
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    5楼  发表于: 2020-07-12 12:24
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    连这都不知道，还做啥子真空设备！！！！！
    楼主留言：
    我们也有请，。。。。注厂，但还是没有完全 解决
    yerong
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    6楼  发表于: 2020-07-12 13:05
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    激光   电子束   涡流   超声波  高频感应    微波
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    tkggtdkjpl
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    7楼  发表于: 2020-07-12 19:20
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    补充7楼    等离子加热
    楼主留言：
    真诚感谢！
    电子束，射频等我们都有试验体，这两种方案对产品伤害很大，在显微镜下能看到，微观上对光洁的产品表面造成不可再用的后果，当然温度也就400多度，我们的目标是产品表面加热而不是产品整体加热，所有目前使用的是热辐射加温，对流不可以用的，腔体已经达到外太空一样的洁净度环境，已试验偶 然能成功，但无法确保稳定重复，一直无法突破，从目前文献上来看，。。。。。，再加上已知仅氩气,氦气对产品无声无害,
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    张平全
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    8楼  发表于: 2020-07-12 20:57
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    按目前的情况来看，加 温：有生产5个9以上高纯度的钨丝供应商是个不错的消息，但一定有比这更优的加温方案
                                    测 温：能优于穿透蓝宝石镀膜石英玻璃窗口的红外线测温方法是最优先选择之一
    honggun
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    9楼  发表于: 2020-07-12 23:17
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    加热的空间多大？一次加热一片还是一次加热很多片？
    楼主留言：
    加热是个半圆柱体，腔体内空间直径500毫米，高度约400毫米，搭建的是六个工位，但都没有成功的痕象，包括使用机器视觉测量晶体状态的技术手法都使用了，我们参与后，在原有模式下，我们仅使用一个工位，做出了OK品，但重复比例不高，很多是着急，就是无不精确加热控温，团队目前受困于加热材料和测温手法，期待你更多的支特
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    wei0212007
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    10楼  发表于: 2020-07-13 08:08
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    张平全
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    11楼  发表于: 2020-07-14 04:57
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    这个技术在涉及到直径2厘米。。。。。。。。。砷化镓外延片和玻璃的键合行业有国外进口的配套工艺在国内生产中使用，如果有参考消息，也可以私信我，谢谢
    另外，告之大家，电子束的加热方法不可用，我们有64到128束的电子束加温设备，一整套这样的加热器连成真空腔体等近千万，事实证明，不是有钱就可以堆出来的，理论很简单，实现不容易
    [ 此帖被张平全在2020-07-20 23:02重新编辑 ]
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